[原子力産業新聞] 2008年7月31日 第2439号 <4面>

エスアイアイ メッキ厚さ等を蛍光X線で 大型基板対応の膜厚計発売

分析・計測装置を製造・販売するエスアイアイ・ナノテクノロジーは、最大幅620mm、奥行き520mmの大型プリント基板に対応できる高性能蛍光X線膜厚計「SFT9500L」を発売した(=写真)。

今回開発された「SFT9500L」は、大型プリント基板に対応するよう、ステージを幅840mm、奥行き540mm、高さ50mmと大型化、試料切断をせずにめっき・蒸着等の薄膜測定を可能にした。従来の最大50倍(同社比)のX線強度検出により、薄膜を精度よく測定する。また、メッキ製品の膜厚測定だけでなく、電気・自動車製品等の微小部分で、環境規制物質の定性・定量分析も可能だ。

価格1,900万円(税別)。問い合わせは営業二部(電話06―6871―8453)まで。


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